A computational study for screening high-selectivity inhibitors in area-selective atomic layer deposition on amorphous surfaces

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标题	A computational study for screening high-selectivity inhibitors in area-selective atomic layer deposition on amorphous surfaces
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2026.166294
DOI	10.1016/j.apsusc.2026.166294 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Gijin Kim; Purun-hanul Kim; Suk Gyu Hahm; Myongjong Kwon; Byungha Park; et al 出版日期：2026
求助人	jingjing 在 2026-04-09 10:46:39 发布自安徽，悬赏 10 积分
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