Investigation of ZrSi2 for application to EUV pellicle

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标题	Investigation of ZrSi2 for application to EUV pellicle
网址	https://doi.org/10.1117/12.2641822
DOI	10.1117/12.2641822 doi
其它	期刊：International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2022 作者：Seong Ju Wi; Chang Soo Kim; Haneul Kim; Jaehyuck Choi; Kyoung-Won Seo; et al 出版日期：2022
求助人	万年wannian 在 2026-03-30 11:26:16 发布自重庆，悬赏 20 积分
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