Towards Unparallelled CMOS-compatible Air-coupled pMUT Performance with 30% Sc-doped AlN through an Analysis of Residual Stress Effects

已完结

文献求助详情

标题	Towards Unparallelled CMOS-compatible Air-coupled pMUT Performance with 30% Sc-doped AlN through an Analysis of Residual Stress Effects
网址	https://doi.org/10.1109/UFFC-JS60046.2024.10794013
DOI	10.1109/UFFC-JS60046.2024.10794013 doi
其它	期刊：2024 IEEE Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control Joint Symposium (UFFC-JS) 作者：Jihang Liu; Goh Duan Jian; Daniel Ssu-Han Chen; David Choong Sze Wai; Trivedi Shyam; et al 出版日期：2024
求助人	怕黑的翠芙在 2026-05-10 18:35:17 发布自安徽，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通的所有服务均免费，并承诺对个人用户永久免费！

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: Lavender发布了新的文献求助40

3秒前; 科研通AI6.3上传了应助文件

6秒前; 烟花的应助被jsdk采纳，获得10

10秒前; hanyu完成签到，获得积分10

13秒前; 六六发布了新的文献求助10

14秒前; ziyi发布了新的文献求助10

17秒前; 烟花上传了应助文件

21秒前; 无敌大裤衩完成签到，获得积分20

22秒前; 共享精神的应助被Lavender采纳，获得20

23秒前; jsdk发布了新的文献求助10

26秒前; 韦一手完成签到，获得积分10

28秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

32秒前; kyy完成签到，获得积分20

35秒前; 852上传了应助文件

36秒前; kyy发布了新的文献求助10

40秒前; 科研通AI6.4的应助被ziyi采纳，获得10

45秒前; 共享精神上传了应助文件

46秒前; 民工完成签到，获得积分10

51秒前; Lavender发布了新的文献求助20

51秒前; 绝世冰淇淋完成签到，获得积分10

53秒前; chezi发布了新的文献求助10

55秒前; 科研通AI6.1的应助被chezi采纳，获得10

1分钟前; 王丹靖完成签到，获得积分10

1分钟前; 乐观的曼青发布了新的文献求助10

1分钟前; 香蕉觅云的应助被Kylo采纳，获得10

1分钟前; 斯文的苡完成签到，获得积分10

1分钟前; 俊秀的太阳发布了新的文献求助10

1分钟前; 中中完成签到，获得积分10

1分钟前; 南无双完成签到，获得积分10

1分钟前; 香蕉觅云上传了应助文件

1分钟前; 科研通AI6.1上传了应助文件

1分钟前; 给点论文吧完成签到，获得积分10

1分钟前; yipmyonphu完成签到，获得积分10

1分钟前; Kylo发布了新的文献求助10

1分钟前; chezi发布了新的文献求助10

1分钟前; ding的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; 科研通AI6.1的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; 无花果的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; orixero的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; 纪年完成签到，获得积分10

1分钟前