Comparison of plasma chemistries for dry etching thin film electroluminescent display materials

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标题	Comparison of plasma chemistries for dry etching thin film electroluminescent display materials
网址	https://doi.org/10.1116/1.581326
DOI	10.1116/1.581326 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 作者：J. W. Lee; B. Pathangey; M. R. Davidson; P. H. Holloway; E. S. Lambers; et al 出版日期：1998
求助人	shadowdt 在 2026-04-02 18:25:49 发布自英国，悬赏 10 积分
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