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标题
Data-Driven and Mechanism-Based Hybrid Model for Semiconductor Silicon Monocrystalline Quality Prediction in the Czochralski Process
直拉法半导体硅单晶质量预测的数据驱动和机理混合模型
相关领域
单晶硅 过程（计算） Crystal（编程语言） 非线性系统 极限学习机 半导体 机制（生物学） 硅 计算机科学 材料科学 控制理论（社会学） 人工智能 人工神经网络 光电子学 物理 控制（管理） 量子力学 程序设计语言 操作系统
网址
https://doi.org/10.1109/tsm.2022.3202610
DOI
10.1109/tsm.2022.3202610 doi
其它 期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
作者：Jun-Chao Ren; Ding Liu; Yin Wan
出版日期：2022-08-29
求助人
日月草 在 2025-02-13 19:14:26 发布自北京，悬赏 10 积分
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