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离子辅助沉积电子束蒸发Si基SiO2薄膜的研究
网址
http://dx.doi.org/10.16818/j.issn1001-5868.2013.04.017
DOI
10.16818/j.issn1001-5868.2013.04.017
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作者:陈京湘、崔碧峰、丁颖
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