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Ultralow line edge roughness of hybrid multilayer Extreme ultraviolet resist with vertical molecular wire structure |
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期刊:Materials Today 作者:Jaehyuk Lee; Hyeonseok Ji; Chawon Koh; Juyeong Lee; Ji-Hoo Seok; et al 出版日期:2025-04-24 |
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(2025-6-4)