Atomic layer deposition of molybdenum oxide from (NtBu)2(NMe2)2Mo and O2 plasma

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标题	Atomic layer deposition of molybdenum oxide from (NtBu)2(NMe2)2Mo and O2 plasma
网址	http://dx.doi.org/10.1116/1.4930161
DOI	10.1116/1.4930161 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 作者：Martijn F. J. Vos; Bart Macco; Nick F. W. Thissen; Ageeth A. Bol; W. M. M. (Erwin) Kessels 出版日期：2015-09-09
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