Requirements and results of a full-field EUV OPC flow - 科研通

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标题	Requirements and results of a full-field EUV OPC flow 相关领域极紫外光刻薄脆饼补偿（心理学）光掩模极端紫外线光学抵抗火炬扫描仪光刻过程（计算）光学接近校正计算机科学材料科学电子工程光电子学物理图层（电子）工程类纳米技术心理学激光器天体物理学精神分析操作系统
网址	https://doi.org/10.1117/12.815255
DOI	10.1117/12.815255 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Stephen Jang; Lena Zavyalova; Brian Ward; Kevin Lucas 出版日期：2009-03-13
求助人	99 在 2025-10-27 11:06:44 发布自上海，悬赏 20 积分
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