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标题
Research on the improvement of the adhesion strength of the Cu films deposited on the Al2O3 films
相关领域
材料科学 薄膜 微观结构 复合材料 扫描电子显微镜 陶瓷 表面粗糙度 溅射沉积 粘附 碳膜 溅射 纳米技术
网址
https://doi.org/10.1116/6.0003649
DOI
10.1116/6.0003649 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena
作者：Lingfeng Ouyang; Yin Gao; Huilong Zheng
出版日期：2024-07-01
求助人
Cadre 在 2025-11-03 11:31:24 发布自山东，悬赏 10 积分
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