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Stress in Single-and Multiribbon Complementary FETs (CFETs): Evolution in Process Flow and Impact on Drive Current 单带和多带互补场效应晶体管(CFRST)中的压力:工艺流程的演变及其对驱动电流的影响
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期刊:IEEE Transactions on Electron Devices 作者:Achintya Dutta; Geert Eneman; N. Thomas; Philippe Matagne; M. Radosavljević 出版日期:2025-01-01 |
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