Stress in Single-and Multiribbon Complementary FETs (CFETs): Evolution in Process Flow and Impact on Drive Current

压力(语言学) 电流(流体) 材料科学 过程(计算) 流量(数学) 工程物理 电气工程 电子工程 工程类 可靠性工程 光电子学 计算机科学 物理 机械 操作系统 哲学 语言学
作者
Achintya Dutta,Geert Eneman,N. Thomas,Philippe Matagne,M. Radosavljević
出处
期刊:IEEE Transactions on Electron Devices [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:: 1-7
标识
DOI:10.1109/ted.2025.3584743
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