Finite-Element Simulation of Different Kinds of Wafer Warpages: Spherical, Cylindrical, and Saddle

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标题	Finite-Element Simulation of Different Kinds of Wafer Warpages: Spherical, Cylindrical, and Saddle 相关领域马鞍有限元法薄脆饼要素（刑法）几何学材料科学机械工程结构工程工程类数学纳米技术政治学法学
网址	https://doi.org/10.1109/tcpmt.2013.2293873
DOI	10.1109/tcpmt.2013.2293873 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Components Packaging and Manufacturing Technology 作者：Aditi Mallik; Roger Stout; J. Ackaert 出版日期：2014-01-30
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