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标题
Single-beam plasma source deposition of carbon thin films
相关领域
材料科学 薄膜 等离子体 离子源 离子束 碳膜 氩 透射率 无定形固体 离子束沉积 分析化学（期刊） 梁（结构） 光电子学 光学 原子物理学 纳米技术 化学 有机化学 色谱法 量子力学 物理
网址
https://doi.org/10.1063/5.0102605
AI链接 nih.gov osti.gov osti.govdoi.org
DOI
10.1063/5.0102605 doi
其它 期刊：Review of Scientific Instruments
作者：Young Kim; Nina Baule; Maheshwar Shrestha; Bocong Zheng; Thomas Schuelke; et al
出版日期：2022-11-01
求助人
牛奶奶爱喝纯牛奶 在 2026-01-09 18:14:48 发布自天津，悬赏 10 积分
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