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Design of an Electrostatic Repulsive-Force Based Vertical Micro Actuator 相关领域
执行机构
机械
静电学
静电放电
材料科学
物理
航空航天工程
电气工程
工程类
电压
量子力学
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期刊: 作者:Da Yong Qiao; Wei Zheng Yuan; M Kellis 出版日期:2006-01-01 |
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