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  Integration of Electrodeposited Ni-Fe in MEMS with Low-Temperature Deposition and Etch Processes 电沉积Ni-Fe在MEMS中的低温沉积和蚀刻工艺集成
相关领域
材料科学
微电子机械系统
蚀刻（微加工）
表面微加工
图层（电子）
化学气相沉积
硅
沉积（地质）
体微机械加工
氧化物
氮化硅
原子层沉积
冶金
光电子学
纳米技术
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沉积物
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期刊：Materials 作者：Giuseppe Schiavone; J. Murray; Richard Perry; Andrew R. Mount; Marc P. Y. Desmulliez; et al 出版日期：2017-03-22 |
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