Fast etch recipe creation with automated model-based process optimization

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标题	Fast etch recipe creation with automated model-based process optimization 通过基于模型的自动化工艺优化快速蚀刻配方创建相关领域过程（计算）校准计算机科学进程窗口光学接近校正工艺优化空间映射在线模型配方投影（关系代数）算法工程制图工程类数学程序设计语言统计环境工程食品科学化学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2583868
DOI	10.1117/12.2583868 doi
其它	期刊：作者：Yang Ban; Kara Kearney; Bryan Sundahl; Leandro Medina; Roger T. Bonnecaze; et al 出版日期：2021-02-19
求助人	贤惠的如松在 2025-12-12 13:33:22 发布自上海，悬赏 20 积分
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