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 Effect of stress control by growth adjustment on the edge thread dislocation density of AlN grown on the sapphire 生长调节应力控制对蓝宝石上生长的AlN边缘线位错密度的影响
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期刊：Semiconductor Science and Technology 作者：Y. H. Zhang; Jing Yang; Feng Liang; Zongshun Liu; Yufei Hou; et al 出版日期：2024-06-07 |
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