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 Oxidant Concentration Modulated Metal/Silicon Interface Electrical Field Mediates Metal-Assisted Chemical Etching of Silicon 氧化剂浓度调制的金属/硅界面电场介导金属辅助硅化学刻蚀
相关领域
硅
材料科学
兴奋剂
蚀刻（微加工）
各向同性腐蚀
金属
半导体
纳米技术
应变硅
光电子学
晶体硅
冶金
非晶硅
图层（电子）
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(2025-6-4)
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