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标题
Data-driven discovery of novel additives for superconformal cobalt electrodeposition in 3D interconnects
网址
https://doi.org/10.1016/j.cej.2026.172903
DOI
10.1016/j.cej.2026.172903 doi
其它 期刊：Chemical Engineering Journal
作者：Yuhang Jiang; Guoxiang Cui; Sibo Zhao; Xiangyu Ren; Shenghong Ju; Yunwen Wu
出版日期：2026
求助人
文献欧尼 在 2026-01-19 15:50:15 发布自北京，悬赏 10 积分
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