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标题
AMICM: A high-precision grating metrology framework via interpretable machine learning and scatterometry
网址
DOI
10.1016/j.optlaseng.2026.109799 doi
其它 期刊:Optics and Lasers in Engineering
作者:Shengquan Nian; Andong Xie; Shijie Liu; Qi Lu; Yunxia Jin; et al
出版日期:2026-08-01
求助人
宝宝熊的熊宝宝 在 2026-06-30 11:55:33 发布自上海,悬赏 10 积分
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