Ultrahigh Selective Etching of SiO[sub 2] Using an Amorphous Carbon Mask in Dual-Frequency Capacitively Coupled C[sub 4]F[sub 8]/CH[sub 2]F[sub 2]/O[sub 2]/Ar Plasmas - 科研通

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标题	Ultrahigh Selective Etching of SiO[sub 2] Using an Amorphous Carbon Mask in Dual-Frequency Capacitively Coupled C[sub 4]F[sub 8]/CH[sub 2]F[sub 2]/O[sub 2]/Ar Plasmas
网址	http://dx.doi.org/10.1149/1.3275710
DOI	10.1149/1.3275710 doi
其它	期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：B. S. Kwon; J. S. Kim; N.-E. Lee; J. W. Shon 出版日期：2010-01-01
求助人	cyyan 在 2026-08-10 15:37:24 发布自上海，悬赏 10 积分
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