Effect of different pulse modes during Cl2/Ar inductively coupled plasma etching on the characteristics of nanoscale silicon trench formation

已完结

文献求助详情

标题	Effect of different pulse modes during Cl2/Ar inductively coupled plasma etching on the characteristics of nanoscale silicon trench formation
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2022.153604
DOI	10.1016/j.apsusc.2022.153604 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Hee‐Ju Kim; Long Wen; Doo San Kim; Ki Hyun Kim; Jong Woo Hong; et al 出版日期：2022-05-10
求助人	sefsfw 在 2026-07-17 14:00:47 发布自北京，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

有了科研通，下载文献真轻松！

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 科研顺利完成签到，获得积分10

4秒前; 在水一方上传了应助文件

15秒前; zest完成签到，获得积分10

16秒前; molihuakai的应助被科研通管家采纳，获得10

16秒前; 归零者的应助被科研通管家采纳，获得10

16秒前; 深情安青的应助被科研通管家采纳，获得10

16秒前; 闾丘晓蓝完成签到，获得积分10

16秒前; 星辰大海的应助被科研通管家采纳，获得10

16秒前; 苗条香水的应助被科研通管家采纳，获得10

16秒前; 东风即是东风完成签到，获得积分10

17秒前; 爆米花的应助被Erica采纳，获得10

17秒前; 无心的千雁完成签到，获得积分10

17秒前; xiaoli完成签到，获得积分10

19秒前; 李健的小迷弟的应助被ll采纳，获得30

19秒前; 司徒宝发布了新的文献求助10

19秒前; 坦率尔琴完成签到，获得积分10

21秒前; 要减肥南霜完成签到，获得积分10

21秒前; 虚拟的易文上传了应助文件

21秒前; wbshore完成签到，获得积分10

23秒前; 淡淡忆曼完成签到，获得积分10

24秒前; scichu完成签到，获得积分10

27秒前; 1233330完成签到，获得积分10

31秒前; 十八完成签到，获得积分10

34秒前; 司徒宝完成签到，获得积分10

37秒前; 科研通AI6.2的应助被伊伊采纳，获得30

43秒前; meimei完成签到，获得积分10

44秒前; 小马甲的应助被小迪迦奥特曼采纳，获得10

50秒前; 自然白安完成签到，获得积分10

52秒前; 王佳豪完成签到，获得积分10

53秒前; randylch完成签到，获得积分0

56秒前; 拼搏的寒凝完成签到，获得积分10

57秒前; 守门人完成签到，获得积分10

59秒前; 小月顺利毕业版完成签到，获得积分10

1分钟前; v0id的应助被liugm采纳，获得10

1分钟前; 虚拟的易文上传了应助文件

1分钟前; 自由的骁完成签到，获得积分10

1分钟前; 羞涩的成仁完成签到，获得积分10

1分钟前; TUtu完成签到，获得积分10

1分钟前; 深情安青的应助被学术神经采纳，获得10

1分钟前; 浅浅殇完成签到，获得积分10

1分钟前