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标题
Nanometer interface and materials control for multilayer EUV-optical applications
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DOI
10.1016/j.progsurf.2011.08.001 doi
其它 期刊:Progress in Surface Science
作者:E. Louis; Andrey Yakshin; T. Tsarfati; F. Bijkerk
出版日期:2011-09-18
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Amara 在 2026-08-28 15:02:53 发布自美国,悬赏 10 积分
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