发布文献求助
已完结
  • 文献求助详情
标题
Optimization of dry etching parameters for fabrication of polysilicon waveguides with smooth sidewall using a capacitively coupled plasma reactor
网址
https://doi.org/10.1364/AO.53.005745
DOI
10.1364/AO.53.005745 doi
其它 期刊：Applied Optics
作者：Surya Cheemalapati; Mikhail Ladanov; John Winskas; Anna Pyayt
出版日期：2014
求助人
包容惜雪 在 2026-06-23 23:31:33 发布自美国，悬赏 10 积分
下载 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
上个求助
提交工单
该求助已完结，感谢关注
如需该文献，请重新发布求助，前往发布
在科研通，轻松享有文献下载的自由
请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
星辰大海的应助被科研通管家采纳，获得10
刚刚
充电宝的应助被科研通管家采纳，获得10
刚刚
CipherSage的应助被科研通管家采纳，获得10
刚刚
我是老大的应助被科研通管家采纳，获得10
刚刚
CR7的应助被科研通管家采纳，获得10
刚刚
科研通AI2S的应助被zrz采纳，获得10
刚刚
田様的应助被科研通管家采纳，获得10
刚刚
汉堡包的应助被科研通管家采纳，获得10
刚刚
英姑的应助被科研通管家采纳，获得20
刚刚
2026221709发布了新的文献求助10
1秒前
1秒前
CipherSage的应助被科研通管家采纳，获得10
1秒前
FashionBoy的应助被科研通管家采纳，获得10
1秒前
充电宝的应助被科研通管家采纳，获得10
1秒前
Hello的应助被科研通管家采纳，获得30
1秒前
SciGPT的应助被科研通管家采纳，获得10
1秒前
1秒前
1秒前
搜集达人的应助被科研通管家采纳，获得10
2秒前
2秒前
aaa的应助被科研通管家采纳，获得10
2秒前
orixero的应助被Snape采纳，获得10
2秒前
2秒前
田様的应助被李韶璋采纳，获得10
3秒前
九三完成签到，获得积分20
3秒前
suusu发布了新的文献求助10
3秒前
aaaa的应助被fwb采纳，获得30
3秒前
拉长的问凝完成签到，获得积分10
4秒前
YQ发布了新的文献求助10
5秒前
5秒前
Miao完成签到，获得积分10
5秒前
佳菲猫完成签到 ，获得积分10
5秒前
Ciao发布了新的文献求助10
6秒前
MOOML1ght完成签到 ，获得积分10
6秒前
酷波er的应助被鲤鱼翠梅采纳，获得10
6秒前
7秒前
7秒前
7秒前
8秒前
清秀的小刺猬的应助被zxy采纳，获得10
9秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Linear Model and Extensions 5000
Essentials of Carbohydrate Chemistry and Biochemistry, 4th Edition 1000
Электротехническая система магнитожидкостной герметизации валов регулируемых электродвигателей 800
Holistic Discourse Analysis, Second Edition by Robert E. Longacre 666
Guidelines for fracture-safe and fatigue-reliable design of steel structures 600
The Basics of Practical Optimization, Second Edition 600
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 计算机科学 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 物理 复合材料 内科学 催化作用 光电子学 人工智能 细胞生物学 无机化学 物理化学 数学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 7982272
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 9443364
关于积分的说明 21084981
捐赠科研通 7557425
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 3376195
关于科研通互助平台的介绍 2510478
邀请新用户注册赠送积分活动 2409443
Copyright © 2020-2026 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 帮助中心 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通