Computational investigations of impedance matching for pulsed capacitively coupled plasmas

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标题	Computational investigations of impedance matching for pulsed capacitively coupled plasmas
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6595/ae359e
DOI	10.1088/1361-6595/ae359e doi
其它	期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：Shimin Yu; Zili Chen; Yu Wang; Zhipeng Chen; Zhijiang Wang; et al 出版日期：2026-01-08
求助人	暗弱在 2026-08-26 16:00:07 发布自上海，悬赏 10 积分
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