Oxynitridation of Silicon and Postnitridation of Thermal Silicon Oxide in N 2 O in a Vertical Furnace

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标题	Oxynitridation of Silicon and Postnitridation of Thermal Silicon Oxide in N 2 O in a Vertical Furnace
网址	http://dx.doi.org/10.1149/1.1838064
DOI	10.1149/1.1838064 doi
其它	期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：P. Lange; H. Boneß; M. Hendriks 出版日期：1997-10-01
求助人	爱笑三颜在 2026-08-26 19:43:08 发布自江苏，悬赏 10 积分
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