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 Laser-guided anisotropic etching for precision machining of micro-engineered glass components 相关领域
机械加工
激光器
材料科学
蚀刻（微加工）
各向同性腐蚀
各向异性
反应离子刻蚀
各向同性
光学
光电子学
复合材料
冶金
物理
图层（电子）
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期刊：International Journal of Machine Tools & Manufacture 作者：Jun Li; Shuai Zhong; Jiaxu Huang; Pei Qiu; Pu Wang; et al 出版日期：2024-04-04 |
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