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标题
Chemical vapour etching of Si, SiGe and Ge with HCl; applications to the formation of thin relaxed SiGe buffers and to the revelation of threading dislocations
网址
DOI
10.1088/0268-1242/20/2/004 doi
其它 期刊:Semiconductor Science and Technology
作者:Y Bogumilowicz; J M Hartmann; R Truche; Y Campidelli; G Rolland; et al
出版日期:2004-12-21
求助人
circlo 在 2026-08-19 14:54:08 发布自江苏,悬赏 10 积分
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