Enhancing the thermal responsivity of microelectromechanical system beam resonators by preloading a critical buckling strain

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标题	Enhancing the thermal responsivity of microelectromechanical system beam resonators by preloading a critical buckling strain
网址	http://dx.doi.org/10.1063/5.0065800
DOI	10.1063/5.0065800 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Boqi Qiu; Ya Zhang; Naomi Nagai; Kazuhiko Hirakawa 出版日期：2021-10-11
求助人	notcc 在 2026-07-06 17:02:17 发布自北京，悬赏 10 积分
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