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 Organic Resist Contrast Determination in Ion Beam Lithography 离子束光刻中有机抗蚀剂对比度的测定
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期刊：Semiconductors 作者：Ya. L. Shabelnikova; S. I. Zaitsev; N. Gusseinov; М. Т. Габдуллин; М. М. Муратов 出版日期：2020-12-01 |
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