Size Effects of Poly-Si Formed by Laser Annealing With Periodic Intensity Distribution on the TFT Characteristics

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标题	Size Effects of Poly-Si Formed by Laser Annealing With Periodic Intensity Distribution on the TFT Characteristics 周期强度分布激光退火多晶硅的尺寸对TFT特性的影响相关领域薄膜晶体管材料科学多晶硅粒度退火（玻璃）有源矩阵光电子学晶体管微晶二极管硅准分子激光器晶界激光器光学复合材料冶金微观结构电气工程物理工程类电压图层（电子）
网址	https://ieeexplore.ieee.org/ielx7/6245494/9359727/09475478.p... AI链接 ieee.org ieee.org doaj.orgdoi.org
DOI	10.1109/jeds.2021.3094795 doi
其它	期刊：IEEE Journal of the Electron Devices Society 作者：Akira Mizutani; Fuminobu Hamano; Daisuke Nakamura; Tetsuya Goto; Siti Rahmah Aid; et al 出版日期：2021-01-01
求助人	隐形曼青在 2025-08-18 05:24:30 发布，悬赏 10 积分
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