Active lens for thermal aberration compensation in lithography lens

已完结

文献求助详情

标题	Active lens for thermal aberration compensation in lithography lens 用于光刻透镜热像差补偿的有源透镜相关领域光学镜头（地质）波前材料科学彗差（光学）色差补偿（心理学）球差光路长度光路平版印刷术散光光学像差激光器物理心理学精神分析色阶
网址	https://doi.org/10.1364/ao.57.008654
DOI	10.1364/ao.57.008654 doi
其它	期刊：Applied Optics 作者：Lei Zhao; Lijun Dong; Xilong Yu; Pengzhi Li; Yanfeng Qiao 出版日期：2018-10-08
求助人	always 在 2023-11-12 15:28:12 发布自北京，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

关注科研痛点，打通你的七经六脉

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

活动

『应助活动周』获奖名单已公布 🔥 (2025-4-2)

更新

『中科院2025期刊分区』已更新 (2025-3-23)

更新

『即时热点』模块已上线 (2025-2-28)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: Paddi完成签到，获得积分10

1秒前; 情怀的应助被51采纳，获得10

2秒前; 阿九完成签到，获得积分10

3秒前; 完全发布了新的文献求助10

3秒前; 在水一方的应助被大侦探皮卡丘采纳，获得10

4秒前; 无语的安白上传了应助文件

6秒前; 吴未完成签到，获得积分10

6秒前; CT不CT啊发布了新的文献求助10

8秒前; 科研通AI5的应助被宋十一采纳，获得10

9秒前; 奶糖喵发布了新的文献求助10

10秒前; Owen上传了应助文件

12秒前; coolkid的应助被喝杯水再走采纳，获得10

12秒前; 阿九发布了新的文献求助10

16秒前; 祭酒完成签到，获得积分10

16秒前; 无语的安白上传了应助文件

18秒前; 吴垚发布了新的文献求助10

18秒前; 小二郎的应助被CT不CT啊采纳，获得10

18秒前; 完美世界上传了应助文件

18秒前; Ava的应助被51采纳，获得10

20秒前; 我讨厌文献综述完成签到，获得积分10

20秒前; 科研通AI5上传了应助文件

20秒前; alittlebit完成签到，获得积分10

21秒前; 在水一方上传了应助文件

22秒前; 酷波er上传了应助文件

24秒前; 完美世界的应助被肖英松采纳，获得10

24秒前; jenningseastera上传了应助文件

25秒前; gujianhua完成签到，获得积分10

25秒前; 派大星关闭了派大星的文献求助

26秒前; 大侦探皮卡丘发布了新的文献求助10

28秒前; 宋十一发布了新的文献求助10

28秒前; gujianhua发布了新的文献求助10

29秒前; 超帅方盒完成签到，获得积分10

30秒前; 完美世界上传了应助文件

32秒前; 活力的驳发布了新的文献求助10

34秒前; 肖肖完成签到，获得积分10

34秒前; 星辰大海上传了应助文件

34秒前; 充电宝上传了应助文件

36秒前; 肖英松发布了新的文献求助10

37秒前; 微笑襄发布了新的文献求助10

38秒前; 烟花的应助被科研通管家采纳，获得10

39秒前