Controllable diamond cutting of structured surfaces with subnanometric height features on silicon

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标题	Controllable diamond cutting of structured surfaces with subnanometric height features on silicon 相关领域钻石金刚石切割纳米硅材料科学金刚石工具比例（比率）机械工程埃精密工程金刚石车削测距纳米技术复合材料计算机科学光电子学工程类物理结晶学化学小型化电信量子力学
网址	https://doi.org/10.1016/j.precisioneng.2024.08.005
DOI	10.1016/j.precisioneng.2024.08.005 doi
其它	期刊：Precision Engineering 作者：Zhongwei Li; Yuan-Liu Chen 出版日期：2024-08-12
求助人	yqd666777 在 2026-05-31 13:26:29 发布自湖南，悬赏 10 积分
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