Study for Ar/NF3 plasma chemistries in inductively coupled discharges with global model and experiment

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标题	Study for Ar/NF3 plasma chemistries in inductively coupled discharges with global model and experiment
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6595/ae35a0
DOI	10.1088/1361-6595/ae35a0 doi
其它	期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：Shi-Zhong Huang; Xin-Jie Wang; Xiangyun Lyu; Xing-Yu Chen; Ming-Liang Zhao; et al 出版日期：2026
求助人	sefsfw 在 2026-04-02 15:56:15 发布自北京，悬赏 10 积分
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