Simulation and fabrication of vertical channel transistors with self-aligned high- κ metal gates using ion implantation for source/drain doping

已完结

文献求助详情

标题	Simulation and fabrication of vertical channel transistors with self-aligned high- κ metal gates using ion implantation for source/drain doping
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1674-4926/2503004...
DOI	10.1088/1674-4926/25030043 doi
其它	期刊：Journal of Semiconductors 作者：Penghui Sun; Yongkui Zhang; Jun Luo 出版日期：2025-12-24
求助人	nnnnnnnn 在 2026-04-08 14:14:40 发布自北京，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

关注科研痛点，打通你的七经六脉

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 青云完成签到，获得积分10

4秒前; ZanE完成签到，获得积分10

8秒前; Kao上传了应助文件

14秒前; 研友_VZG7GZ上传了应助文件

27秒前; Takahara2000发布了新的文献求助10

32秒前; Kao上传了应助文件

40秒前; Takahara2000完成签到，获得积分10

47秒前; Hello的应助被awa606采纳，获得10

50秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

52秒前; Kao上传了应助文件

1分钟前; 文献文发布了新的文献求助10

1分钟前; 科研通AI6.4的应助被文献文采纳，获得10

1分钟前; 小马甲上传了应助文件

1分钟前; 慕青上传了应助文件

1分钟前; 不会骑车的猪发布了新的文献求助10

1分钟前; Kao上传了应助文件

1分钟前; awa606发布了新的文献求助10

1分钟前; sasogmp完成签到，获得积分10

1分钟前; 尼斯湖中的小水怪完成签到，获得积分10

1分钟前; 科研通AI6.4的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; Orange上传了应助文件

1分钟前; 化身孤岛的鲸完成签到，获得积分10

1分钟前; 不会骑车的猪发布了新的文献求助10

1分钟前; Kao上传了应助文件

1分钟前; 王不凡完成签到，获得积分10

1分钟前; Kao上传了应助文件

1分钟前; 打打的应助被awa606采纳，获得10

2分钟前; 有魅力的臻完成签到，获得积分10

2分钟前; 科研通AI6.3的应助被呵呵心情采纳，获得10

2分钟前; Hello上传了应助文件

2分钟前; Kao上传了应助文件

2分钟前; BillyCHEN完成签到，获得积分10

2分钟前; awa606发布了新的文献求助10

2分钟前; xionggege完成签到，获得积分10

2分钟前; 科研通AI6.3上传了应助文件

2分钟前; Kao上传了应助文件

2分钟前; Kao上传了应助文件

2分钟前; 呵呵心情发布了新的文献求助10

2分钟前; stubborn_cat完成签到，获得积分10

2分钟前; 万能图书馆上传了应助文件

2分钟前