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 TiN films deposited by low-temperature magnetron sputtering on polyethylene to improve its hydrophobicity and hardness 相关领域
材料科学
锡
溅射沉积
溅射
无定形固体
氮化钛
薄膜
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氮化硅
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期刊：Vacuum 作者：Pauline Lefèbvre; F. Charlot; Stéphane Coindeau; G. Berthomé; Nicolas Coulmy; et al 出版日期：2026-02-17 |
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