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Uniform Wafer-scale MOCVD homoepitaxy of β-Ga2O3 on 2-inch (010) substrates 相关领域
外延
金属有机气相外延
材料科学
化学气相沉积
表征(材料科学)
光电子学
基质(水族馆)
限制
表面光洁度
衍射
表面粗糙度
纳米技术
沉积(地质)
原子力显微镜
工作(物理)
方向(向量空间)
不可用
平面(几何)
数码产品
晶体生长
曲面(拓扑)
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| 网址 | |
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| 其它 |
期刊:Chinese Physics B 作者:Xuanze Zhou; Haozhong Wu; Yi Ding; Ziyuan Wang; Zhaowei Zhou; et al 出版日期:2025-10-14 |
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(2025-6-4)