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 Stress in undoped LPCVD polycrystalline silicon 未掺杂LPCVD多晶硅中的应力
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期刊：TRANSDUCERS '91: 1991 International Conference on Solid-State Sensors and Actuators. Digest of Technical Papers 作者：K. Krulevitch; Roger T. Howe; George C. Johnson; J. Huang 出版日期：2002-12-09 |
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