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 Impact of post-deposition annealing on surface, bulk and interface properties of RF sputtered AlN films 相关领域
材料科学
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期刊：Materials Science and Technology 作者：J. P. Kar; S. Mukherjee; G. Bose; S. Tuli; J. M. Myoung 出版日期：2009-08-01 |
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