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Defect Formation at Hydrophilic Silicon Bonding Interfaces
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网址
DOI
10.1149/1.3483535 doi
其它 期刊:ECS Transactions
作者:François Rieutord; Sebastien Vincent; Jean-Daniel Penot; Hubert Moriceau; Ionut Radu
出版日期:2010-10-01
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