Active control of a pneumatic isolation table using model following control and a pressure differentiator

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标题	Active control of a pneumatic isolation table using model following control and a pressure differentiator
网址	https://doi.org/10.1016/j.precisioneng.2006.11.004
DOI	10.1016/j.precisioneng.2006.11.004 doi
其它	期刊：Precision Engineering 作者：Tomonori Kato; Kenji Kawashima; Koichi Sawamoto; Toshiharu Kagawa 出版日期：2007
求助人	诺索在 2026-06-02 11:07:16 发布自四川，悬赏 10 积分
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