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 Modeling diffusion and depletion in high-aspect-ratio atomic layer deposition processes: Process parameters and manufacturing impacts 相关领域
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Victor A. Vogt; Andrew J. Gayle; Andrés Miranda Mañón; Andrej Lenert; Neil P. Dasgupta 出版日期：2025-09-17 |
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