Efficient metrology for edge placement error and process window characterization using design for inspection methodology

已完结

文献求助详情

标题	Efficient metrology for edge placement error and process window characterization using design for inspection methodology
网址	https://doi.org/10.1117/1.JMM.22.4.041602
DOI	10.1117/1.JMM.22.4.041602 doi
其它	期刊：Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology 作者：Andrzej J. Strojwas; Tomasz Brozek; Indranil De 出版日期：2023
求助人	南宫书双在 2026-04-07 10:10:18 发布自浙江，悬赏 20 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

上个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，破除各种障碍，优化资源分配，让科研信息充分流通

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: mango完成签到，获得积分10

8秒前; 呆萌保温杯完成签到，获得积分10

25秒前; 体贴怡完成签到，获得积分10

29秒前; 慕青上传了应助文件

42秒前; ysw979发布了新的文献求助10

47秒前; 五月完成签到，获得积分10

52秒前; 美好的初翠完成签到，获得积分10

1分钟前; ysw979完成签到，获得积分10

1分钟前; 科研通管家关闭了tudou的文献求助

1分钟前; 外向的慕山完成签到，获得积分10

1分钟前; 迷人悒完成签到，获得积分10

2分钟前; 俭朴迎荷完成签到，获得积分10

2分钟前; 阳阳完成签到，获得积分10

2分钟前; 美满的幼旋完成签到，获得积分10

2分钟前; 激情的盼晴完成签到，获得积分10

2分钟前; 梓歆完成签到，获得积分10

2分钟前; 超级烨磊完成签到，获得积分10

3分钟前; cc发布了新的文献求助20

3分钟前; 彩色樱桃完成签到，获得积分10

3分钟前; cc完成签到，获得积分20

3分钟前; 酷酷乐双完成签到，获得积分10

3分钟前; 健壮的从寒完成签到，获得积分10

3分钟前; 杆杆完成签到，获得积分10

3分钟前; Yanssrer完成签到，获得积分10

4分钟前; YYM完成签到，获得积分10

4分钟前; Akim上传了应助文件

4分钟前; 乐观怜寒完成签到，获得积分10

4分钟前; 乐观的凝海完成签到，获得积分10

4分钟前; MAX发布了新的文献求助10

4分钟前; 机灵善斓完成签到，获得积分10

4分钟前; 大然小怪完成签到，获得积分10

4分钟前; JUN完成签到，获得积分10

5分钟前; 瞿人雄完成签到，获得积分10

5分钟前; drirshad完成签到，获得积分10

5分钟前; 没心没肺完成签到，获得积分10

5分钟前; 清辉影完成签到，获得积分10

5分钟前; 牧青的应助被Benhnhk21采纳，获得30

5分钟前; 852的应助被科研通管家采纳，获得10

5分钟前; xmh556完成签到，获得积分10

5分钟前; 科研通AI2S的应助被chopper采纳，获得10

5分钟前