Hydrogen depth profiling and multi-energy proton implantation: SIMS as a tool for implant process control

已完结

文献求助详情

标题	Hydrogen depth profiling and multi-energy proton implantation: SIMS as a tool for implant process control
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2024.108219
DOI	10.1016/j.mssp.2024.108219 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Orazio Samperi; Lasse Vines; Mario Pietro Bertolini; Massimiliano Cantiano; Salvo Coffa; et al 出版日期：2024-02-10
求助人	HPxeno 在 2026-07-26 18:54:10 发布自上海，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。

National Center for Biotechnology Information

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

在科研通，轻松享有文献下载的自由

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: Kao上传了应助文件

11秒前; Kao上传了应助文件

31秒前; 隐形大地完成签到，获得积分10

39秒前; Kao上传了应助文件

59秒前; 炙热含玉完成签到，获得积分20

1分钟前; NexusExplorer的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; Copyright的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; 小马甲的应助被科研通管家采纳，获得10

1分钟前; 负责的元柏完成签到，获得积分10

1分钟前; Kao上传了应助文件

1分钟前; 科研通AI6.4的应助被134345采纳，获得10

2分钟前; daguan完成签到，获得积分10

2分钟前; 壮观的谷冬完成签到，获得积分0

2分钟前; Kao上传了应助文件

2分钟前; 炙热含玉发布了新的文献求助10

3分钟前; 2041完成签到，获得积分0

3分钟前; Kao的应助被科研通管家采纳，获得10

3分钟前; Kao的应助被科研通管家采纳，获得10

3分钟前; 星辰大海的应助被科研通管家采纳，获得10

3分钟前; 搜集达人的应助被科研通管家采纳，获得10

3分钟前; Kao的应助被科研通管家采纳，获得10

3分钟前; Kao上传了应助文件

3分钟前; 搜集达人的应助被炙热含玉采纳，获得10

3分钟前; LINDENG2004完成签到，获得积分10

3分钟前; Kao上传了应助文件

3分钟前; Kao上传了应助文件

3分钟前; 玛琳卡迪马完成签到，获得积分10

4分钟前; 彭于晏的应助被王雪晗采纳，获得10

4分钟前; 彭于晏上传了应助文件

5分钟前; 英俊的铭的应助被yeyiliux采纳，获得10

5分钟前; 王雪晗发布了新的文献求助10

5分钟前; Copyright上传了应助文件

5分钟前; 斯文败类的应助被科研通管家采纳，获得10

5分钟前; 天天快乐的应助被科研通管家采纳，获得10

5分钟前; Kao的应助被科研通管家采纳，获得10

5分钟前; 丘比特的应助被科研通管家采纳，获得10

5分钟前; arniu2008的应助被科研通管家采纳，获得10

5分钟前; Kao的应助被科研通管家采纳，获得10

5分钟前; Copyright的应助被科研通管家采纳，获得10

5分钟前; Kao的应助被科研通管家采纳，获得30

5分钟前