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标题
Simulation of the Dynamic Process and Quality-Influencing Mechanisms in Wafer-to-Wafer Hybrid Bonding
网址
http://xplorestaging.ieee.org/ielx8/5503870/11430659/1138145...
DOI
10.1109/tcpmt.2026.3659942 doi
其它 期刊：IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology
作者：Yang Xi; Shizhao Wang; Zhiqiang Tian; Shi Zhang; Fang Dong; et al
出版日期：2026-02-10
求助人
Jomo 在 2026-08-28 15:02:37 发布自浙江，悬赏 10 积分
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