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标题
Advanced in situ pre-Ni silicide (Siconi) cleaning at 65nm to resolve defects in NiSix modules
网址
http://dx.doi.org/10.1116/1.3271334
DOI
10.1116/1.3271334 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
作者：Ruipeng Yang; Na Su; Paolo Bonfanti; Jiaxiang Nie; Jay Ning; et al
出版日期：2010-01-01
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你嵙这个期刊没买 在 2026-08-28 22:13:06 发布自中国，悬赏 10 积分
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