Effect of heater structure on oxygen concentration in large diameter n-type Czochralski silicon study using numerical simulation

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标题	Effect of heater structure on oxygen concentration in large diameter n-type Czochralski silicon study using numerical simulation 相关领域材料科学硅氧气极限氧浓度直拉法计算机模拟光电子学工程类化学模拟有机化学
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.applthermaleng.2024.124334
DOI	10.1016/j.applthermaleng.2024.124334 doi
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