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 Facet formation and lateral overgrowth of selective Ge epitaxy on SiO2-patterned Si(001) substrates 相关领域
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B 作者：Ji-Soo Park; J. Bai; M. Curtin; M. Carroll; Anthony Lochtefeld 出版日期：2008-01-04 |
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