Synergistic Effects of Ceria Morphology in Magnetically-Assisted Chemical Mechanical Polishing: A Dual-Component Approach for Ultraprecision Surface Planarization

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标题	Synergistic Effects of Ceria Morphology in Magnetically-Assisted Chemical Mechanical Polishing: A Dual-Component Approach for Ultraprecision Surface Planarization
网址	http://dx.doi.org/10.1021/acsomega.5c12727
DOI	10.1021/acsomega.5c12727 doi
其它	期刊：ACS Omega 作者：Hongdong Wang; Yue Shi; Kunpeng Wang; Hong Lei; Hui Zhang; et al 出版日期：2026-03-26
求助人	李利利在 2026-08-20 16:46:48 发布自北京，悬赏 10 积分
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